6インチウェーハボート SiC半導体高硬度
シリコンカーバイド ウェーハ ボートには多くの重要な利点があり、高温、高清浄度、強い腐食などの過酷な環境でも優れた性能を発揮します。
シリコンカーバイド（SiC）ウエハボートは高い熱安定性を有しています。SiCウエハボートの長期使用温度は1350℃～1650℃に達し、化学気相成長（CVD）、拡散、アニールといった主流の半導体プロセスの要件を満たすことができます。また、SiCウエハボートは1700℃でも短時間であれば軟化したり変形したりすることはありません。SiCウエハボートは、シリコンカーバイド枚葉式ウエハ炉などのハイエンド設備に適しています。
シリコンカーバイドウェーハボートは、熱膨張係数が低く、優れた熱衝撃安定性を備えているため、急激な温度変化にも耐え、熱応力による構造亀裂の発生を低減します。複雑な高温環境下でも、シリコンカーバイドウェーハボートは良好な形態と性能を維持します。
SiCウェーハボートは、極めて高い表面清浄度と低汚染性を備えています。材料の純度が高く、金属不純物含有量が極めて低いため、シリコンウェーハへの二次汚染を回避できます。表面粗さRaは0.1μm未満に制御可能で、高度な清浄度レベルに対する厳しい要件を満たします。
また、SiC ウェーハボートのカスタマイズにより、バリや損傷のない歯溝が実現され、4 インチ ウェーハボート、6 インチ ウェーハボート、8 インチ ウェーハボート、12 インチ ウェーハボートなど、さまざまなサイズでカスタマイズできます。
最後に、SiC ウェーハ ボート構造は強度が高く、耐用年数が長く、平均寿命が従来の石英ボートの 5 ～ 10 倍も長いため、機器の交換頻度と全体的な所有コストが大幅に削減されます。
材料の技術的パラメータ
半導体・太陽光発電産業 | RSiC |
SiC純度（％） | 99.9-99.99 |
嵩密度（g/cm3） | 2.65～2.75 |
見かけ気孔率（％） | 15-16 |
室温強度（MPa） | 90 |
1300℃における強度(MPa) | 100 |
焼結体の接合強度(MPa) | 25 |
製品詳細
本製品は6インチウェーハボートです。直径は150mmで、対応する6インチウェーハを搬送するために使用されます。6インチウェーハボートに収容できるウェーハ枚数は通常25～100枚です。
石英材料と比較して、6インチウエハーボートは炭化ケイ素セラミックスの様々な特性を備えています。6インチウエハーボートは曲げ応力変形や熱歪みが生じにくく、ウエハー製造工程における強腐食や超高温といった過酷な反応環境にも適応できます。炭化ケイ素セラミックスはウエハーボートに最適な材料であり、6インチウエハーボートはウエハーボート市場における新興製品でもあります。
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私たちについて
ライズポート グローバル トレーダー 株式会社.（瀋陽）は、カスタマイズされたシリコンカーバイドソリューションを専門とする、産業と貿易を統合した企業です。寸法カスタマイズと技術設計を通じ、オーダーメイドの窯用家具を提供する包括的なOEMおよびODMサービスを提供しています。サンプル検証と厳格な品質基準に基づき、多様な生産要件に対応する信頼性の高いパフォーマンスを保証します。
