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SiC ウェーハ ボートは、半導体製造および結晶成長プロセスにおける重要なキャリアであり、主に高温環境でシリコン ウェーハまたはシリコン カーバイド基板を運ぶために使用されます。 シリコンカーバイドウェーハボートは、高純度、高温耐性（1600℃以上）、酸およびアルカリに対する耐腐食性、低い熱膨張係数、高い熱伝導性などの利点があります。