RSiC炉用熱シールドプレートチャンバー継手
製品説明
RSiC熱シールドプレートは、拡散炉、CVD炉、焼鈍炉などの高温装置の重要な部品です。RSiC熱シールドプレートは、熱損失の低減、温度均一性の維持、外部構造の保護において重要な役割を果たします。炉熱シールドプレートの主な機能は次のとおりです。
断熱材: 熱処理や LPCVD プロセスでシリコンボートを運ぶために使用され、熱伝達を効果的に遮断し、効率的な断熱を実現します。
温度均一性の向上：多層反射または断熱設計を利用して、炉内の熱場のバランスの取れた分布を促進し、温度差を±1〜2℃の範囲内に制御します。
機械的サポート機能: RSiC 熱シールド プレートは、加熱要素、プロセス チューブ、またはチップ搬送デバイスに強固で安定したサポート基盤を提供します。
RSiC炉用熱シールドプレートの特性
耐高温性：800〜1600℃の環境で長時間安定して動作し、さまざまなプロセス要件に適応します。
低熱伝導率：室温での熱伝導率は通常1W /（m·K）未満であり、熱伝導を効果的に抑制します。
化学的不活性：各種プロセスガス（O₂、H₂、HClなど）による腐食に耐性があり、安定した性能を維持します。
高純度材料: RSiC 熱シールド プレートは不純物含有量が極めて低いため、高温でも揮発性物質がウェーハを汚染するのを防ぎます。
軽量構造: 熱容量が小さいため、熱シールドプレートは急速な加熱と冷却を実現し、プロセス効率を向上させます。
特徴と利点
· 耐高温性
· 耐熱衝撃性
· 高い熱伝導率
· 高い機械的強度
· 耐酸性・耐アルカリ性
· 耐摩耗性
メインパラメータ
高温窯設備業界 | RSiC |
SiC含有量（％） | ≥99% |
嵩密度（g/cm3） | 2.65～2.75 |
見かけ気孔率（％） | 17歳未満 |
室温強度（MPa） | 90～100 |
1300℃での強度(MPa) | 100～110 |
20℃における弾性率 | 240 |
1200℃における熱伝導率(W/メートル) | 36 |
熱膨張×10-6/℃ | 4.6 |
最高使用温度（℃） | 1650℃ |
20°Cにおける硬度（kg/んん2） | 2000 |
20°における破壊靭性(MpaxM1/2） | 2.0 |
製品詳細
半導体シールドプレートは、単なる断熱材ではありません。断熱、温度均一化、耐荷重、防汚、効率向上といった機能を統合した重要な機能部品であり、半導体製造プロセスの性能、効率、歩留まり、コストに直接関係しています。
パッキング
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