再結晶シリコンカーバイドカンチレバーパドル
製品説明
シリコンカーバイドカンチレバーパドルは、細長いストリップ状または穿孔形状のフラットなデザインを特徴とする高性能セラミック構造部品です。この特殊なSiCカンチレバーパドルは、主に太陽光発電および半導体ウェハ搬送システムに使用され、焼結プロセスにおいて材料を信頼性の高い状態で保持します。当社は、独自の高純度シリコンカーバイド粉末（SiC含有量99.9990%）を用いて製造されており、複雑な形状要件を満たす数メートルに及ぶ大型SiCカンチレバーパドル部品の製造において独自の能力を有しています。これらの高度なシリコンカーバイドカンチレバーパドルユニットは、ウェハ熱処理および化学蒸着アプリケーションにおいて、重要な荷重支持および搬送要素として機能します。
再結晶シリコンカーバイドカンチレバーパドルの特性
1. 環境適応性
高温耐性: SiC カンチレバー パドルは、1650°C に達する動作温度でも構造的完全性を維持し、さらに高い短期間の熱暴露にも変形することなく耐えるため、LPCVD やその他の高温プロセスに最適です。
耐熱衝撃性: 熱膨張係数が低いため、このカンチレバー パドルは急速な熱サイクル条件に耐え、機器のメンテナンス間隔を大幅に延長します。
2. 機械的性能
高い耐荷重性: 優れた曲げ強度により、SiC カンチレバー パドルは従来の石英素材に比べて大幅に高いウェーハ荷重をサポートできるため、生産スループットが向上します。
耐摩耗性と耐腐食性: モース硬度レベル 9 の SiC カンチレバー パドルは、酸、アルカリ、粒子侵食に対して優れた耐性を示し、汚染リスクを最小限に抑え、ウェーハの純度を維持します。
3. 軽量構造と長寿命
低密度カンチレバーパドルは機械システムの負荷を軽減するとともに、金属や石英製の代替品に比べて 3 ～ 5 倍の耐用年数を実現し、総所有コストを大幅に削減します。
4. 精度と安定性
優れた表面仕上げと並外れた熱安定性により、シリコンカーバイドカンチレバーパドルは、半導体ウェーハ処理の厳しい精度要件を満たしながら、自動ロボット処理を容易にします。
特徴と利点
耐高温性
耐熱衝撃性
高い熱伝導率
高い機械的強度
耐酸性および耐アルカリ性
耐摩耗性
メインパラメータ
高温窯設備業界 | RSiC |
SiC含有量（％） | ≥99% |
嵩密度（g/cm3） | 2.65～2.75 |
見かけ気孔率（％） | 17歳未満 |
室温強度（MPa） | 90～100 |
1300℃での強度(MPa) | 100～110 |
20℃における弾性率 | 240 |
1200℃における熱伝導率(W/メートル) | 36 |
熱膨張×10-6/℃ | 4.6 |
最高使用温度（℃） | 1650℃ |
20°Cにおける硬度（kg/んん2） | 2000 |
20°における破壊靭性(MpaxM1/2） | 2.0 |
応用
SiCカンチレバーパドルの産業用途
半導体製造: シリコンカーバイドカンチレバーパドルは、拡散炉や CVD 装置内で重要なサポートを提供し、安定したウェーハ処理環境を確保します。
太陽光発電生産: シリコン ウェーハ焼結炉の重要な荷重支持要素として、SiC カンチレバー パドルにより、太陽電池の効率的な大量生産が可能になります。
高度なセラミックス処理: このカンチレバー パドルは、窒化シリコンやジルコニア部品などのテクニカル セラミックスの高温焼結を容易にします。
ガラス産業用途: 堅牢なシリコンカーバイドカンチレバーパドルは、高温ガラス処理システムにおける溶融ガラス搬送ローラーとして効果的に機能します。
私たちについて
20年以上にわたる製品研究と革新を経て、当社の事業分野は工業用窯家具、炭化ケイ素原料粉末、環境に優しいセラミックフィルム、電子セラミックス、半導体太陽電池などを網羅しています。製品は、米国、日本、ドイツ、イタリア、スペイン、オーストラリア、南アフリカ、ブラジル、タイなど、海外20以上の国と地域に輸出されています。当社は複数の国に代理店を構えており、2024年には製品輸出量が総生産量の30%を占める見込みです。
