炉室断熱バレル SiC 高純度
製品説明
再結晶シリコンカーバイド断熱バレルは、ハイエンドの高温産業設備の重要な部品であり、特に半導体、太陽光発電、特殊セラミックスなどの分野の高温処理プロセスでかけがえのない利点を発揮します。炉室断熱バレルの機能は、チップ製造の生産環境、つまり超クリーンで超精密な生産環境を保護することです。
炉室断熱バレルは窒化シリコン（SiC）で構成されており、炭化シリコン（SiC）断熱バレルとも呼ばれます。SiC断熱バレルは、温度ではなく環境状態の安定性を確保します。一定で純粋かつ不活性な「微気候」を維持します。SiC断熱バレルは、数百万ドル相当のウェーハを保護し、チップの歩留まりを確保する最先端のハイテク容器です。SiC断熱バレルは、チップ製造に不可欠な部品です。
RSiC断熱バレルの特性
1、超高温安定性：耐熱限界、長期使用温度は1600℃、短期許容温度は1800℃に達します。
2、高温強度保持：炭化ケイ素断熱バレルの1500℃での圧縮強度は100MPa以上ですが、アルミナ断熱材の強度は同じ温度で50％以上低下します。
3、究極の熱効率：SiC断熱バレルは、0.8～1.2 W/(m·K)（800℃）という低い熱伝導率を有し、特殊な細孔構造設計により、一般的な炭化ケイ素材料と比較して40%の低減を実現しています。多層反射構造：RSiC材料を使用し、高い放射熱反射率を実現しています。
4、化学的不活性：耐腐食性：SiC絶縁バレルは、ヒューマン・コミュニケーションズ、HF、H2SO4蒸気などの酸性ガス、Na2CO3溶融塩などのアルカリ環境、およびAl、銅、Agなどの金属溶融物に耐えることができます。
5、SiC絶縁バレルは長寿命です。
特徴と利点
· 耐高温性
· 耐熱衝撃性
· 高い熱伝導率
· 高い機械的強度
· 耐酸性・耐アルカリ性
· 耐摩耗性
メインパラメータ
高温窯設備業界 | RSiC |
SiC含有量（％） | ≥99% |
嵩密度（g/cm3） | 2.65～2.75 |
見かけ気孔率（％） | 17歳未満 |
室温強度（MPa） | 90～100 |
1300℃での強度(MPa) | 100～110 |
20℃における弾性率 | 240 |
1200℃における熱伝導率(W/メートル) | 36 |
熱膨張×10-6/℃ | 4.6 |
最高使用温度（℃） | 1650℃ |
20°Cにおける硬度（kg/んん2） | 2000 |
20°における破壊靭性(MpaxM1/2） | 2.0 |
製品詳細
絶縁シリンダーは超高純度です。焼結体の純度は3N以上、加工精度は0.01mmに達します。
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